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一种用于饱和石墨舟的夹具


一种用于饱和石墨舟的夹具:

1、石墨舟不同饱满方式的差异;

2、饱满时运用假片饱满充沛:生产成本高;

3、饱满环境和实际镀膜环境相同:硅片的存在会形成更大面积的电场,发生更多等离子体,石墨舟内壁上堆积的氮化硅膜更充沛。

4、饱满时不运用假片饱满不行充沛:生产成本低;

5、饱满程度不充沛,前期镀膜均匀性较差,色差片较多。

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