一种用于饱和石墨舟的夹具:
1、石墨舟不同饱满方式的差异;
2、饱满时运用假片饱满充沛:生产成本高;
3、饱满环境和实际镀膜环境相同:硅片的存在会形成更大面积的电场,发生更多等离子体,石墨舟内壁上堆积的氮化硅膜更充沛。
4、饱满时不运用假片饱满不行充沛:生产成本低;
5、饱满程度不充沛,前期镀膜均匀性较差,色差片较多。