PECVD石墨舟:
1. PECVD石墨舟包括:
①石墨舟片
②石墨隔块
③石墨棒
④螺母
⑤陶瓷圈/陶瓷棒
⑥卡点;
2. 公司采用高纯石墨加工,杂质含量低、强度高;
3. 陶瓷件采用99.9纯度,防腐蚀性强、不易爆裂;
4. 采用精密加工设备,专业技术人员指导,保证隔块装配尺寸;
5. 能生产匹配CT、捷佳伟创、大族、赛瑞达、七星华创等厂家设备标准配舟,还可以按照客户的要求实现定制各种规格;