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热场是真空电阻炉的核心部分

石墨热场

一、热场是真空电阻炉的核心部分,它的好坏直接影响到炉子的性能及其运营成本。热场的设计是多种多样的,具体选择哪一种设计方案,主要基于对工艺流程的具体分析。

二、大多数真空电阻炉的热场包括四个主要组成部分:加热器及其连接部件、隔热部件(或者反射屏)、热场支撑部件、工件承载炉床。

三、这些配件往往会由于材质的问题或者使用时间的问题常常需要做好定期更换,那么对于石墨热场配件在哪些条件下需要更换,哪些条件下需要清洗呢?

1、对于寿命已到更换期限的,原则上需要更换(或让经验丰富的人对其识别,决定其是否继续使用)。

对于没到寿命更换且暂时不用者,要将其密封在塑料袋中,放入纸箱打包,注明炉号、炉数、更换原因、来源、日期,并妥善保管。  

2、对于部分损坏(如三瓣坏一瓣)而又未到寿命期限的,可凑用或更换

(对于只有几炉的新三瓣埚由车间主管判断后,决定是否使用,对能使用且能凑够一套的凑用,对能使用但暂时不用的将其封存保管)。

密封保存的再次使用时,建议使用在提纯的炉子上。

3、每次拆炉时,清理热场氧化物,并把石墨件上的渗硅清理干净,导流筒、保温盖要认真擦拭干净,避免杂物污染原料事故。拿取石墨件,除注意人身安全外,还要小心轻放,注意石墨件安全。 

4、严格按操作规程升温、化料、回熔、停炉等,保护好石墨件。每一炉拆炉后都要仔细清扫石墨配件,仔细检查籽晶及各个石墨热场配件的状况,并做好详细记录。

5、检查石墨配件有无裂纹,特别是石墨坩埚、石墨托盘、石墨坩埚杆有无裂纹,如出现裂纹应立即报告车间主管,并作出更换,对有沾硅的地方应作出判断或报告车间主。

在使用到预计使用寿命前的5炉以前由带班班长负责检查、审查。在使用到预计使用寿命前的5炉以后由车间主管负责检查、审查。

6、石墨配件使用寿命到期后,对逾期使用有可能造成重大损失的石墨配件(石墨托盘、坩埚杆、石墨坩埚)等部件先拆下来进行更换新品,

更换下来的石墨配件进行封存,单晶车间、技术处和生产处会审后再进行处理,其他配件如加热器、保温筒、导流筒等要仔细检查,看有无微小裂纹和缺陷,原则上这些石墨配件如无上述缺陷可以继续使用。

7、对于出现事故的石墨热场配件做好详细记录。对于有问题的石墨配件应做好详细记录,归入指定的地点,以防混淆。

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