加热器是热场中很重要的部件,是直接发热体,温度最高的时候可以达到1600度以上。常见的加热器有三种形状,筒状、杯状、螺旋状。
石墨接触到的单晶硅加热器形状一般都是直筒状的。一般情况下,加热器采用的高纯石墨加工。
石墨电极的作用平稳固定加热器并通过他岁加热器输送电流。
因此在电极要厚重,结实耐用、表面要光滑平稳,保证良好的接触面,通电时不打火,石墨电极也是有高纯石墨加工的。
坩埚托杆、坩埚和托盘共同构成了石墨坩埚的支撑体,要求和下轴结合牢固,对中性良好在下轴进行转动时,托杆及托盘的摆渡小于等于0.5mm石墨支撑体的高度是可以调节的。