PECVD石墨舟清洗及使用维护
舟的预处理(饱和):
进入PE炉管前应再次检查石墨舟是否完好。建议预处理(饱和)正常时间在200-240分钟;随着石墨舟清洗次数的增多及时间的增加,其饱和时间需要相应延长。
建议不要在空舟状态进行预处理,最好装上假片或废片;虽然操作程序较长,但可缩短预处理时间,并可延长舟的使用寿命。
石墨舟的维护:
1.石墨舟的存放:石墨舟应存放在干燥清洗的环境中。由于石墨本身的空隙结构而使其具有一定的吸附性,潮湿或污染的环境会使得清洗烘干后的石墨舟容易再次污染或受潮。
2.石墨舟组件陶瓷、石墨部件均属易碎材质,在搬运或使用过程中应尽量避免碰擦;若发现组件有断裂、裂纹、松脱等现象应及时预以更换和重新锁紧。
3.石墨工艺卡点更换:根据使用频率及时间,以及电池片实际阴影面积的要求,应对石墨舟工艺卡点进行周期性更换。推荐使用上海弘竣提供的专用更换卡点设备进行拆卸及安装。该设备的操作有利于提高装配的速度和一致性以及减少舟片破损的风险。
4.建议对石墨舟进行编号管理,指定和执行定期的清洗、烘干、维护、检查,并指定专人管理;保持石墨舟的管理及使用的稳定性。整体清洗的石墨舟应定期对陶瓷组件进行更换。
5.石墨舟维护时,组件、舟片及工艺卡点建议由石墨舟供应商提供,以免因组件精度无法匹配原舟而导致在更换过程中产生损坏。
6.石墨舟使用过程中任何问题及建议,请及时与我们联系。