光伏行业中PECVD石墨舟的运用
石墨舟是太阳能电池镀减反射膜时的一种载体,其结构和尺寸直接影响硅片的转换效率和生产效率。经过多年的技术研发,我公司现拥有先进的生产设备,技术精湛的设计师和经验丰富的生产人员,所有材料均为进口原材料。目前我公司制造的石墨舟结构简单,石墨舟间距合理,使硅片镀膜均匀,提高了硅片质量,太阳能转换效率高。黄金公司拥有当前市场所需的所有类型的石墨舟。
石墨舟作为镀膜工艺生产的正常硅片的载体,其结构中有许多具有一定间隔的舟,而相邻的两个舟之间有一个狭窄的空间,硅片放置在空门的两侧。
由于石墨舟的材料石墨具有良好的导电性和导热性,在相邻的两舟之间施加交流电压,使相邻的两舟形成正负两极。当室内有一定的气压和气体时,两船之间发生辉光放电。辉光放电可以在空间分解SiH4和NH3气体,形成Si和N的离子,结合形成SiNx分子,沉积在硅片表面,达到镀膜的目的。