半导体工业对石墨材料的要求特别高,粒度细的石墨具有精度高、耐高温、强度高、损耗低的优点,如石墨模具用于烧结。由于半导体工业中使用的石墨设备(包括加热器及其烧结模具)需要承受反复的加热和冷却过程,为了延长石墨设备的使用寿命,通常要求使用的石墨材料应具有稳定的性能和抗热震性。为了满足上述要求,中国现已开发出一系列适用于半导体行业的石墨材料。
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半导体石墨模具选定材料
一、电子设备的烧结
石墨模具可用于各种型号的可控硅、三极管、二极管等的管芯烧结。如果用高频炉熔炼法生产单晶,也要用石墨舟。
二、绝缘子烧结模具
石墨模具适用于烧结电容器绝缘体;烧结厚膜集成电路绝缘体;各类三极管、硅整流管、可控硅管座的烧结;超小型继电器、连接器等元件的绝缘体烧结模具等。