PECVD石墨舟包括:
①石墨舟片
②石墨隔块
③石墨棒
④螺母
⑤陶瓷圈/陶瓷棒
⑥卡点;
石墨舟陶瓷件采用99.9纯度,防腐蚀性强、不易爆裂;
石墨舟采用精密加工设备,专业技术人员指导,保证隔块装配尺寸;